近代物理所大科學(xué)裝置檢驗(yàn)檢測(cè)超凈間國(guó)家實(shí)驗(yàn)室,致力于射頻 超導(dǎo)技術(shù)鍍膜,、射頻超導(dǎo)腔前沿技術(shù)的研究,,我國(guó)目前新立項(xiàng)的 北方光源、上海光源升級(jí),、C-ADS(中國(guó)加速器驅(qū)動(dòng)次臨界系 統(tǒng)),、HIAF(高通量重離子加速器系統(tǒng))等大科學(xué)工程均是本技 術(shù)潛在的應(yīng)用對(duì)象。 超凈間潔凈等級(jí)涵蓋ISO6級(jí),、ISO5級(jí),、ISO4級(jí),溫控 14~22±0.5℃,,濕度40~60%,,其中單個(gè)ISO4級(jí)(10級(jí))凈面積 約160㎡,凈高4m,,氣流流型為垂直單向流,。