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中國科學院近代物理所 蘭州重離子加速器國家實驗室

時間：2022-02-24

近代物理所大科學裝置檢驗檢測超凈間國家實驗室,，致力于射頻 超導技術鍍膜,、射頻超導腔前沿技術的研究,，我國目前新立項的 北方光源,、上海光源升級,、C-ADS（中國加速器驅動次臨界系 統(tǒng)）、HIAF（高通量重離子加速器系統(tǒng)）等大科學工程均是本技 術潛在的應用對象,。 超凈間潔凈等級涵蓋ISO6級、ISO5級,、ISO4級,，溫控 14~22±0.5℃，濕度40~60%,，其中單個ISO4級（10級）凈面積 約160㎡,，凈高4m,，氣流流型為垂直單向流,。

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