近代物理所大科學(xué)裝置檢驗(yàn)檢測超凈間國家實(shí)驗(yàn)室,,致力于射頻 超導(dǎo)技術(shù)鍍膜、射頻超導(dǎo)腔前沿技術(shù)的研究,,我國目前新立項(xiàng)的 北方光源,、上海光源升級、C-ADS(中國加速器驅(qū)動(dòng)次臨界系 統(tǒng)),、HIAF(高通量重離子加速器系統(tǒng))等大科學(xué)工程均是本技 術(shù)潛在的應(yīng)用對象,。 超凈間潔凈等級涵蓋ISO6級、ISO5級,、ISO4級,,溫控 14~22±0.5℃,濕度40~60%,,其中單個(gè)ISO4級(10級)凈面積 約160㎡,,凈高4m,氣流流型為垂直單向流,。