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潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,，此空間我們稱之為潔凈室,。按照國際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,，無塵是必然的要求,。

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí),。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別,。

潔凈室用途主要有以下三個(gè)：

空氣潔凈室：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能,。但是,，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。

靜態(tài)潔凈室：各種功能完備,、設(shè)定安裝妥當(dāng),，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員,。

動(dòng)態(tài)潔凈室：處于正常使用的潔凈室,，服務(wù)功能完善,，有設(shè)備和人員；如果需要,，可從事正常的工作,。

1,、能除去空氣中飄游之微塵粒子,。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生,。

3,、溫度和濕度之控制。

4,、壓力之調(diào)節(jié),。

5、 有害氣體之排除,。

6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性,。

7,、靜電之防制。

8,、電磁干擾預(yù)防,。

9、安全因素之考慮,。

10,、節(jié)能之考量。

亂流式(Turbulent Flow)

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí),。

定義：氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室,。

原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬級(jí)凈化級(jí)別）,。

特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別,。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）

（1）自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室,，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間,。 1,000級(jí)希望不超過20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)

（2）換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí)23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單,、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易,，在某些特殊用途場(chǎng)所,，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí),。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,，欲達(dá)需求之潔凈度,，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

層流式(Laminar)

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100,。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),，塵埃隨風(fēng)向排出室外,，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單,，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充,。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易,，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高,，彈性運(yùn)用空間困難,，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩,。

復(fù)合式(Mixed Type)

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用,。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式,。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易,； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,，可節(jié)省能源,，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品,、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用,。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用,；潔凈工作臺(tái),、潔凈棚、裝配式潔凈室,、潔凈衣柜即屬此類,。

潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。

潔凈棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間,，其等級(jí)為10~1000級(jí),，高度在2.5米左右,，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪,，可為彈性運(yùn)用,。

氣流的重要性

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,，換言之,，即人、機(jī)器隔間,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng),、擴(kuò)散受到氣流的支配。

潔凈室系利用HEPA,、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈,。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外,。

風(fēng)速的控制

潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度,、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。

另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持,，表示風(fēng)速有異,，特別是在壁面,，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：

(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異,；

(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過低或過高(0.2m/s,，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一,，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間,。

影響因素

影響潔凈室的氣流因素很多,，如制程設(shè)備、人員,、潔凈室組裝材,、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),，亦應(yīng)列入考慮因素,。

一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí),，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,，工作臺(tái)因而將受到污染,，良率也勢(shì)必降低。

潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,，將使渦流現(xiàn)象減少最低,；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素,。

潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：

(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceiling rod),、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe),。

(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙,、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等,。

(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶,、門。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板,。

(5)照明器具：包括日光燈,、黃色燈管等,。

潔凈室之建筑主體構(gòu)造,，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造,，必須滿足如下之條件：

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕,；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子,；

C.吸濕性?。?/p>

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高,；

工業(yè)潔凈室

以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài),。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體,、集成電路等）宇航工業(yè),、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè),、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤,、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）,、電腦硬盤,、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

生物潔凈室

主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染,。又可分為,；

A、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細(xì)菌）對(duì)象的污染,。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室,。例：制藥工業(yè),、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品,、化妝品,、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,、理化檢驗(yàn)室,、血站等。

B,、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染,。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué),、生物學(xué),、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因,、疫苗制備）

1、發(fā)塵量

潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除,，不流入室內(nèi),；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比,，一般極小,，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少,，一般占10%以下,，發(fā)塵主要來自人，占90%左右,。在人的發(fā)塵量上,，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵絕對(duì)量也不斷減少,。

A,、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為棉,、的確良,、去靜電純滌綸、尼龍,。

B,、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之,，全罩型最少,；

C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍,；

D,、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。

室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量,，以地面為準(zhǔn),，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。

2,、發(fā)菌量

工作人員產(chǎn)生的污染：

1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換,，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）

2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。

3）口水：包括鈉,、酶,、鹽,、鉀,、氯化物及食品微粒。

4）日常衣物：微粒、纖維,、硅土,、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌,。

5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒,。

6）人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。

7）人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒,。

分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為：

（１） 潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí)：

靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人

軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人

快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人

（２） 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人

噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人

（３） 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人

（４） 無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14

（５） 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：

（６） 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人

所以,，可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/ min.人，動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/ min/人,，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的,。

國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

（1）.潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2001

（2）.醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002

（3）.醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50457-2008

（4）.傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范

（5）.醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測(cè)試方法GB/T16292-1996

（6）.QS認(rèn)證質(zhì)量手冊(cè)

（7）.GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范

國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范　ISO系列

（1）ISO14644-1 空氣潔凈度等級(jí)劃分

（2）ISO14644-2 為認(rèn)證ISO14644-1的 連續(xù)的相符性的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)要求

（3）ISO14644-3 測(cè)試方法

（4）ISO14644-4 設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

（5）ISO14644-5 運(yùn)行(Operations)

（6）ISO14644-6 術(shù)語和定義

（7）ISO14644-7 分離裝置(潔凈空氣罩,、手套箱,、分離器和微循環(huán)設(shè)備

（8）ISO14644-8 分子污染

（9）ISO14644-9 潔凈化學(xué)品（液體）

IEST系列

潔凈空氣：

RP-CC001高效與超高效過濾器

RP-CC002單向流裝置

RP-CC006潔凈室測(cè)試RP-CC007超高效過濾器測(cè)試

RP-CC008氣體吸收裝置

RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率

RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器介質(zhì)測(cè)試

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

潔凈室與潔凈環(huán)境：

RP-CC006潔凈室測(cè)試

RP-CC012潔凈室設(shè)計(jì)要點(diǎn)

RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率

RP-CC018潔凈室管理運(yùn)行與檢測(cè)程序

RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電

RP-CC023潔凈室中的微生物

RP-CC024微電子設(shè)備震動(dòng)測(cè)量與說明

RP-CC026潔凈室運(yùn)行

RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

特殊應(yīng)用：

RP-CC029使用噴漆器要考慮的污染控制因素

運(yùn)行保障：

RP-CC003凈室與受控環(huán)境的服裝系統(tǒng)要點(diǎn)

RP-CC004凈室與受控環(huán)境用抹布材料評(píng)估

RP-CC005凈室與受控環(huán)境用手套和指套

RP-CC020潔凈室文件材料與格式

設(shè)備：

RP-CC002單向流裝置

RP-CC013設(shè)備校準(zhǔn)與檢驗(yàn)程序

RP-CC015潔凈室生產(chǎn)設(shè)備與輔助設(shè)備

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

術(shù)語：

RP-CC011污染控制領(lǐng)域術(shù)語和定義

文獻(xiàn)：

RP-CC009污染控制領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)、準(zhǔn)則,、方法與相關(guān)文件概覽

潔凈工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息,、半導(dǎo)體,、光電子、精密制造,、醫(yī)藥衛(wèi)生,、生物工程、航天航空,、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級(jí)差別也較大,。

目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉,，基本是屬于1級(jí)，屬于特殊領(lǐng)域,，面積相對(duì)較小,。

另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向,。

潔凈標(biāo)準(zhǔn)與潔凈等級(jí) (ISO 國際標(biāo)準(zhǔn)）各粒徑檔最大容許粒子濃度 (顆/m3) 

經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級(jí),，例如美國,、日本,、西歐、北歐,、俄羅斯等,。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GBJ73-84），1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,，1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件,。目前，該規(guī)范在重新修訂中,。

GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級(jí)

等級(jí)每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù) 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù)

附：

根據(jù)潔凈室國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644： 百級(jí)潔凈室就是5級(jí),。

對(duì)于百級(jí)潔凈室，其室內(nèi)氣流流型為垂直單向流或水平單向流,，氣流流速為：0.2~0.5m/s,，百級(jí)潔凈室0.5μm的塵埃粒子數(shù)為：3520PCS/m3。正常情況下其滿布比達(dá)到80%,，垂直單向流滿布比不應(yīng)小于60%,，水平單向流滿布比不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了,。

單向流潔凈室下限風(fēng)速建議值：

為了保證潔凈室能控制以下四種污染的最小風(fēng)速：

a. 當(dāng)污染氣流多方位散布時(shí),，送風(fēng)氣流要能有效控制污染的范圍；

b. 當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流同向時(shí),，送風(fēng)氣流要能有效控制污染氣流到達(dá)下游的擴(kuò)散范圍,；

c. 當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流逆向時(shí)，送風(fēng)氣流能把污染氣流抑制在必要的距離之內(nèi),；

d. 在全室被污染的情況下,，足以在合適的時(shí)間迅速使室內(nèi)空氣自凈