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潔凈室不同于一般的舒適性空調(diào)房間,，室內(nèi)的溫濕度控制要求精度較高。同時(shí)對(duì)空氣的潔凈度也有較高要求,，使得換氣次數(shù)較多,，新風(fēng)量大，甚至有直排系統(tǒng),。

例如，藥廠的生產(chǎn)車(chē)間一般要求溫度在22℃±2℃,，相對(duì)濕度在55%±5%以?xún)?nèi),。

并且外界的溫濕度變化對(duì)室內(nèi)溫濕度影響較大，所以需要選擇合理的溫濕度控制方案,，才能確保室內(nèi)的溫濕度達(dá)到設(shè)計(jì)要求,。

潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì),。

一般來(lái)說(shuō)，由于加工精度越來(lái)越精細(xì),，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小,。

例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小,。直徑100um的硅片，溫度上升1度,，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,，所以必須有±0.1度的恒溫。同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染,，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度,。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多,。

相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,，如果發(fā)生在精密裝置或電路中,，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹,。

此外,，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。

相對(duì)濕度越高,，粘附的難去掉,，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿,。對(duì)于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35-45%。

a.溫濕度控制的特性

對(duì)濕空氣單純地加熱或制冷過(guò)程,，是環(huán)境含濕量保持不變的過(guò)程,，即絕對(duì)濕度保持不變的過(guò)程。

濕空氣經(jīng)過(guò)盤(pán)管加熱,，溫度升高而相對(duì)濕度下降,；相反，對(duì)冷卻過(guò)程,，溫度下降而相對(duì)濕度相應(yīng)升高,。

因此，我們可以得出,，溫度和相對(duì)濕度是兩個(gè)不同方向的控制量,，要使溫濕度同時(shí)向相同的趨勢(shì)變化，單純地靠加熱/冷卻過(guò)程是不能實(shí)現(xiàn)的,。

冷卻去濕過(guò)程是濕空氣經(jīng)冷卻達(dá)到飽和后繼續(xù)制冷的過(guò)程,，濕空氣經(jīng)過(guò)冷卻盤(pán)管析出水滴，從而降低了絕對(duì)濕度,，起到降濕的作用,。

所以，可以將空氣處理過(guò)程分為加熱,、加熱加濕,、制冷、制冷再熱和制冷加濕等5個(gè)部分。

b.實(shí)際過(guò)程中所采用的方法以及常見(jiàn)問(wèn)題

（1）冷熱水閥的控制問(wèn)題

溫度變化的方向與冷/熱水閥的動(dòng)作方向相反,，通常是采用冬夏季分開(kāi)的運(yùn)行模式。這樣的做法在過(guò)度季節(jié)會(huì)難以判斷和確定運(yùn)行模式,，很容易造成室內(nèi)溫濕度的失調(diào),。

（2）常規(guī)的處理方法及問(wèn)題

為了解決除濕問(wèn)題，通常采用濕度優(yōu)先的方法,，冷水閥主要用來(lái)除濕,，同時(shí)也造成溫度的下降，然后通過(guò)熱水閥的再熱,，使溫濕度均能達(dá)到所要求的值,。

這樣的做法雖然可以滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求，但在相當(dāng)多的時(shí)候,，冷熱水閥使能量相互抵消,，造成了能源的浪費(fèi)。

據(jù)統(tǒng)計(jì),，目前我國(guó)空調(diào)系統(tǒng)的能耗占整個(gè)建筑物能耗的50%～60%,。

因此，對(duì)空調(diào)設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化控制,，選擇合理的控制方法，對(duì)建筑節(jié)能具有重要的意義,。

單純地采用回風(fēng)溫度閉環(huán)控制冷/熱水閥以控制室內(nèi)溫度的做法,，其PID參數(shù)難以整定在合適的范圍內(nèi)，很難保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度,。

如果調(diào)節(jié)動(dòng)作慢,，造成提前開(kāi)機(jī)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)；調(diào)節(jié)動(dòng)作快,，則很容易造成系統(tǒng)的超調(diào),，甚至產(chǎn)生震蕩現(xiàn)象。

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